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类金刚石薄膜涂层的涂层工艺是什么

作者: 发布时间:2022/5/5 0:21:48 浏览次数:

类金刚石薄膜是由sp3和sp2键组成的亚稳态材料,具有金刚石和石墨的优良特性,硬度高。 高电阻率光学性能好,摩擦特性好。

一.基于工件的处理。 这一步很重要。 只要将工件研磨至小于Ra0.2um,被涂层的工件就能获得满意的表面质量。 这对成形光学透镜和LED部件等要求成形后光学性能的部件非常重要。 操作时注意不要在基体表面处理上留下死角,影响膜层能否与基体牢固结合。

二、充分清洗。 充分清洗待涂覆的工件,待涂覆的母材、质量水平、几何形状决定了清洗过程。 工件安装在设定的夹具上,夹具在优化型腔搭载尺寸、确保均匀涂层的基础上设计。 清洗方法为真空室10-6托( )高真空),去除系统中的污染物。 将惰性气体导入真空室,使其离子化,产生辉光放电)、等离子体)。 这是在气体清洗阶段,让零件准备金属沉淀。

三.金属沉淀。 向用于沉淀的固体金属施加高电流、低电压的电弧时,金属蒸发,瞬间离子化。 在高能作用下,属离子通过惰性气体或活性气体进入腔室,沉淀在工件上。 蒸发的金属在金属沉淀的过程中不会变化。 活化沉淀过程中,改变气体体积和种类会改变膜的性质,形成碳化物、氮化物、氧化物等陶瓷。 同样,不同的膜也可以通过改变靶材的材料来生成。